当研究所では主に光学薄膜形成用の真空蒸着材料の製造・販売を行っております。
反射防止膜、光フィルタ、透明導電膜、保護膜等の形成用に各種材料を取り揃えています。
無機材料の粉体焼結技術を生かし蒸着時のスプラッシュ、アウトガスの発生を抑えた製品です。
真空蒸着材料 製品一覧
■材料形状
ペレットタイプφ5～90mm他、顆粒タイプ 0.5～1.5mm、1～3mm、長尺タイプ、その他特殊形状（アーチ）
 |
 |
 |
 |
 |
| ペレット | 顆粒 | 顆粒（脱ガスタイプ） | ペレット （長尺タイプ） |
アーチ |
■蒸着方法
電子ビーム（EB）、イオンビーム、抵抗加熱、レーザーアブレーションなど
| No. | 製品名(フッ化物） | No. | 製品名（フッ化物） |
| 20 | AlF3（フッ化アルミニウム） | 26 | MgF2（フッ化マグネシウム） |
| 21 | CaF2（フッ化カルシウム） | 27 | NaF(フッ化ナトリウム） |
| 22 | CeF3（フッ化セリウム） | 28 | NdF3(フッ化ネオジム） |
| 23 | GdF3（フッ化ガドリニウム） | 29 | SmF3(フッ化サマリウム） |
| 24 | LaF3（フッ化ランタン） | 30 | YbF3（フッ化イッテルビウム） |
| 25 | LiF(フッ化リチウム) | 31 | YF3（フッ化イットリウム） |
| No.1 | 膜特性/材料特性 | |
 |
Al2O3（酸化アルミニウム-アルミナ） | |
| 膜特性 【屈折率】1.63（550 nm近辺） 【使用波長域】0.2 ～ 7μm 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】4.0g/cm3 【融 点】2046℃ 【沸点】2980℃ 【性 質】○水溶性 ： 不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：難溶 |
|
| No.2 | 膜特性/材料特性 | |
 |
CeO2（酸化セリウム） | |
| 膜特性 【屈折率】2.2（550 nm近辺） 【使用波長域】0.4 ～ 12μｍ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】7.3g/cm3 【融 点】1950℃ 【沸点】 － 【性 質】○水溶性 ：不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に難溶 HClに不溶、H2SO4,HNO3に可溶 |
|
| No.3 | 膜特性/材料特性 | |
 |
Cr2O3（酸化クロム） | |
| 膜特性 【屈折率】 2.24-i0.07（700 nm近辺） 【使用波長域】 1.2 ～ 10μｍ 【蒸発方法】 EB |
材料特性 【理論密度】5.21g/cm3 【融 点】2435℃ 【沸点】 4000℃ 【性 質】○水溶性 ： 不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：不溶 |
|
| No.4 | 膜特性/材料特性 | |
 |
Ga2O3（酸化ガリウム） | |
| 膜特性 【屈折率】 1.45（550 nm近辺） 【使用波長域】 0.3μｍ ～ 【蒸発方法】 EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】5.95g/cm3 【融 点】1900℃ 【沸点】 － 【性 質】○水溶性 ：不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：不溶 |
|
| No.5 | 膜特性/材料特性 | |
 |
HfO2（酸化ハフニウム－ハフニア） | |
| 膜特性 【屈折率】1.95（550 nm近辺） 【使用波長域】0.22 ～ 12μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】9.68g/cm3 【融 点】2810℃ 【沸点】5400℃ 【性 質】○水溶性 ： 不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：不溶 |
|
| No.6 | 膜特性/材料特性 | |
 |
I.T.O（In2O3＋SnO2） | |
| 膜特性 【屈折率】 2.06-i0.016(500nm近辺) 【使用波長域】 0.4 ～ 1μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【製品密度】－ 【融 点】－ 【沸点】 － 【性 質】 In2O3＝可溶（酸：非晶）、不溶（水（酸：結晶）） 三方晶系：850℃（揮発） SnO2＝融点：1630℃、沸点：1800～1900℃（昇華） 可溶（KOH、NaOH）、不溶（水、王水） |
|
| No.7 | 膜特性/材料特性 | |
 |
MgO（酸化マグネシウム－マグネシア） | |
| 膜特性 【屈折率】1.74（550 nm近辺） 【使用波長域】0.2 ～ 8μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】3.58g/cm3 【融 点】2800℃ 【沸点】3600℃ 【性 質】○水溶性:－ ○耐薬品性(酸、アルカリ)：可溶 |
|
| No.8 | 膜特性/材料特性 | |
 |
Nb2O5（五酸化ニオブ） | |
| 膜特性 【屈折率】 2.33(500nm近辺) 【使用波長域】 0.32 ～ 8μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】4.47g/cm3 【融 点】1520℃ 【沸点】 － 【性 質】○水溶性:不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：フッ化水素酸、アルカリに可溶 |
|
| No.9 | 膜特性/材料特性 | |
 |
NiO（酸化ニッケル） | |
| 膜特性 【屈折率】 － 【使用波長域】 － 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】6.82g/cm3 【融 点】1955℃ 【沸点】 － 【性 質】○水溶性 ： 不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：塩酸に可溶 |
|
| No.10 | 膜特性/材料特性 | |
 |
SiO2（酸化珪素） | |
| 膜特性 【屈折率】1.46(500nm近辺) 【使用波長域】0.2～8μｍ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】2.20g/cm3 【融 点】1500℃ 【沸点】 2230℃ 【性 質】○水溶性:不溶、酸、アルカリに不溶 |
|
| No.11 | 膜特性/材料特性 | |
 |
Ta2O5（五酸化タンタル） | |
| 膜特性 【屈折率】2.16（550 nm近辺） 【使用波長域】0.3 ～ 10μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】8.73g/cm3 【融 点】1468℃ 【沸点】 － 【性 質】○水溶性:不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：フッ化水素酸、アルカリに可溶 |
|
| No.12 | 膜特性/材料特性 | |
 |
Ti3O5（五酸化チタン） | |
| 膜特性 【屈折率】2.3 ～ 2.55（550 nm近辺） 【使用波長域】0.4 ～ 3μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】－ 【融 点】－ 【沸点】－ 【性 質】○水溶性:不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：希硫酸・希塩酸に可溶 |
|
| No.13 | 膜特性/材料特性 | |
 |
TiO（一酸化チタン） | |
| 膜特性 【屈折率】2.3 ～ 2.55（550 nm近辺） 【使用波長域】0.4 ～ 3μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】4.93g/cm3 【融 点】1750℃ 【沸点】3000℃ 【性 質】○水溶性 ：－ ○耐薬品性(酸、アルカリ)：希硫酸・希塩酸に可溶 |
|
| No.14 | 膜特性/材料特性 | |
 |
TiO2（二酸化チタン－チタニア） | |
| 膜特性 【屈折率】2.3 ～ 2.55（550 nm近辺） 【使用波長域】0.4 ～ 3μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】4.26g/cm3 【融 点】1850℃ 【沸点】3000℃ 【性 質】○水溶性：不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：硫酸、アルカリに可溶 |
|
| No.15 | 膜特性/材料特性 | |
 |
WO3（酸化タングステン） | |
| 膜特性 【屈折率】 2.2（550 nm近辺） 【使用波長域】 0.4μｍ ～ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】7.15g/cm3 【融 点】1473℃ 【沸点】 － 【性 質】○水溶性:不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：アルカリ水溶液に可溶 |
|
| No.16 | 膜特性/材料特性 | |
 |
Y2O3（酸化イットリウム－イットリア） | |
| 膜特性 【屈折率】1.87（550 nm近辺） 【使用波長域】0.3 ～ 12μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】5.03g/cm3 【融 点】2410℃ 【沸点】 4300℃ 【性 質】○水溶性 ： 不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に可溶、アルカリに不溶 |
|
| No.17 | 膜特性/材料特性 | |
 |
ZnO（酸化亜鉛） | |
| 膜特性 【屈折率】2.1（550 nm近辺） 【使用波長域】0.4 ～ 20μｍ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】5.47g/cm3 【融 点】1975℃ 【沸点】－ 【性 質】○水溶性 ： 難溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：可溶 |
|
| No.18 | 膜特性/材料特性 | |
 |
ZrO2（酸化ジルコニウム－ジルコニア） | |
| 膜特性 【屈折率】2.05（550 nm近辺） 【使用波長域】0.34 ～ 8μｍ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】5.56g/cm3 【融 点】2677℃ 【沸点】4548℃ 【性 質】○水溶性:不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：硫酸、フッ化水素酸に可溶 |
|
| No.19 | 膜特性/材料特性 | |
 |
ZRT2（ZrO2+TiO2） | |
| 膜特性 【屈折率】2.10（550 nm近辺） 【使用波長域】－ 【蒸発方法】EB |
材料特性 【理論密度】－ 【融 点】－ 【沸点】－ 【性 質】－ |
|
| No.20 | 膜特性/材料特性 | |
 |
AlF3（フッ化アルミニウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.38（550 nm近辺） 【使用波長域】0.2 μｍ～ 【蒸発方法】抵抗加熱、EB |
材料特性 【理論密度】2.88g/cm3 【融 点】1040℃ 【沸点】1260℃（昇華） 【性 質】○水溶性 ： 可溶 |
|
| No.21 | 膜特性/材料特性 | |
 |
CaF2（フッ化カルシウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.23～1.45（550 nm近辺） 【使用波長域】0.15 ～ 12μｍ 【蒸発方法】抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】3.18g/cm3 【融 点】1418℃ 【沸点】2500℃ 【性 質】○水溶性 ：水 18℃ 0.0016g/100g、難溶（希鉱酸）、不溶：酢酸 |
|
| No.22 | 膜特性/材料特性 | |
 |
CeF3（フッ化セリウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.63（550 nm近辺） 【使用波長域】0.3 ～ 5μｍ 【蒸発方法】抵抗加熱、EB |
材料特性 【理論密度】5.8g/cm3 【融 点】1324℃ 【沸点】1360℃ 【性 質】○水溶性 ： 不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に難溶 |
|
| No.23 | 膜特性/材料特性 | |
 |
GdF3（フッ化ガドリニウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.59（550 nm近辺） 【使用波長域】0.28μｍ ～ 【蒸発方法】抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】－ 【融 点】1231℃ 【沸点】2277℃ 【性 質】不溶（水） |
|
| No.24 | 膜特性/材料特性 | |
 |
LaF3（フッ化ランタン） | |
| 膜特性 【屈折率】1.59（550 nm近辺） 【使用波長域】0.22 ～ 14μｍ 【蒸発方法】抵抗加熱、EB |
材料特性 【理論密度】5.9g/cm3 【融 点】1490℃ 【沸点】2300℃ 【性 質】○水溶性：不溶 ○耐薬品性(酸、アルカリ)：酸に難溶 |
|
| No.25 | 膜特性/材料特性 | |
 |
LiF（フッ化リチウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.3（550 nm近辺） 【使用波長域】0.11 ～ 7μｍ 【蒸発方法】抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】2.64g/cm3 【融 点】842℃ 【沸点】1680℃ 【性 質】○水溶性 ：難溶 可溶：フッ化水素酸 |
|
| No.26 | 膜特性/材料特性 | |
 |
MgF2（フッ化マグネシウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.38 ～ 1.4（550 nm近辺） 【使用波長域】0.13 ～ 8μｍ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】3.2g/cm3 【融 点】1248℃ 【沸点】2260℃ 【性 質】○水溶性 ： 難溶 可溶（NHO3） |
|
| No.27 | 膜特性/材料特性 | |
 |
NaF（フッ化ナトリウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.34（550 nm近辺） 【使用波長域】0.13～15μｍ 【蒸発方法】抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】2.78g/cm3 【融 点】988℃ 【沸点】1704℃ 【性 質】可溶（水、フッ化水素酸） |
|
| No.28 | 膜特性/材料特性 | |
 |
NdF3（フッ化ネオジム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.61（550 nm近辺） 【使用波長域】0.2～12μｍ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】6.5g/cm3 【融 点】1374℃ 【沸点】2327℃ 【性 質】－ |
|
| No.29 | 膜特性/材料特性 | |
 |
SmF3（フッ化サマリウム） | |
| 膜特性 【屈折率】－ 【使用波長域】－ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】6.5g/cm3 【融 点】1306℃ 【沸点】2427℃ 【性 質】可溶（硫酸）、不溶（水） |
|
| No.30 | 膜特性/材料特性 | |
 |
YbF3（フッ化イッテルビウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.5(550nm近辺) 【使用波長域】0.22～12μｍ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】8.2g/cm3 【融 点】1157℃ 【沸点】2230℃ 【性 質】－ |
|
| No.31 | 膜特性/材料特性 | |
 |
YF3（フッ化イットリウム） | |
| 膜特性 【屈折率】1.5（550 nm近辺） 【使用波長域】0.2～14μｍ 【蒸発方法】EB、抵抗加熱 |
材料特性 【理論密度】5.07g/cm3 【融 点】1152℃ 【沸点】2230℃ 【性 質】不溶（水）、分解（濃酸） |
|
